UA-20935187-3
真空镀膜系统

PVD & PECVD Complex系統

Hybrid 500-4A2S

Hybrid 500-4A2S

可设置2组Sputter及2侧阴极电弧模组。
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Hybrid 500-4S

Hybrid 500-4S

可设置4组Sputter，建构非平衡磁控溅射系统(UBM)，也可做为高阶装饰镀膜设备。
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