晶圆制造
晶圆制造,也称为半导体制造或晶圆加工,是用于生产集成电路 (IC) 或微芯片的复杂而关键的工艺。 该过程涉及将半导体晶圆转变为功能电子器件的一系列步骤。
(1) 残余光阻去除
(2) 蓝膜残胶清洁
(3) PSS 制程来料清洁
(1) 残余光阻去除
(2) 蓝膜残胶清洁
(3) PSS 制程来料清洁
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