UA-20935187-3
低压等离子设备

等离子蚀刻机 PI01

等离子蚀刻机 PI01
等离子蚀刻机 PI01
产品描述
适用于太阳能电池制程，对矽晶片之边缘做蚀刻
产品特点
  • 专利设计之特殊等离子电极
  • 高密度等离子源
  • 处理速度快、产能高、可靠度高
  • 可选择的操作参数多
  • 设备稳定度高，容易维护
  • 全自动且容易操作
  • 可依客户需求作更改
相关解决方案
  • 太阳能电池
  • 太阳能矽晶片边缘做蚀刻
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