UA-20935187-3
真空鍍膜系統

PVD & PECVD Complex系統

Hybrid 500-4A2S

Hybrid 500-4A2S

可設置2組Sputter及2侧陰極電弧模組。
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Hybrid 500-4S

Hybrid 500-4S

可設置4組Sputter，建構非平衡磁控濺射系統(UBM)，也可做為高階裝飾鍍膜設備。
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