UA-20935187-3
真空鍍膜系統

Hybrid 500-4A2S

Hybrid 500-4A2S
Hybrid 500-4A2S
產品特點
  • 可設置2組Sputter及2侧陰極電弧模組。
  • 整合PVD及PECVD系統技術，可以製備附著性極佳之Me/DLC複合鍍層技術。
  • 可彈性應用於刀工具硬質膜層之製作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。
  • 可製備：TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等
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