UA-20935187-3
真空镀膜系统

Hybrid 500-4A2S

Hybrid 500-4A2S
Hybrid 500-4A2S
产品特点
  • 可设置2组Sputter及2侧阴极电弧模组。
  • 整合PVD及PECVD系统技术，可以制备附着性极佳之Me/DLC复合镀层技术。
  • 可弹性应用于刀工具硬质膜层之制作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。
  • 可制备：TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等
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