PECVD系统

随着晶片尺寸越做越小，封装、封测甚至晶圆制造端所使用的元件，包含治具(Hot Plate、Change kit、Contack chuck…)、轨道、载盘、震动盘、模具等等皆需要有抗静电的功能特性，以保护产品在生产过程中，因静电导致破坏等问题。而馗鼎透过研究与业界实测，透过多元复合技术，搭配PVD/PECVD等特殊多层堆叠技术，可成功实现表面达抗静电消散能力的薄膜，馗鼎公司此技术已量产五年以上，稳定性与可靠度已受客户多年认证。

抗磨耗以延长产品寿命