PECVD系統

隨著晶片尺寸越做越小，封裝、封測甚至晶圓製造端所使用的元件，包含治具(Hot Plate、Change kit、Contack chuck…)、軌道、載盤、震動盤、模具等等皆需要有抗靜電的功能特性，以保護產品在生產過程中，因靜電導致破壞等問題。而馗鼎透過研究與業界實測，透過多元複合技術，搭配PVD/PECVD等特殊多層堆疊技術，可成功實現表面達抗靜電消散能力的薄膜，馗鼎公司此技術已量產五年以上，穩定性與可靠度已受客戶多年認證。

抗磨耗以延長產品壽命