空污环保等离子洗涤器
Plsasma Scrubber 温室气体(PFCs)等离子洗涤器
产品特点
- (1) 效率高、低功耗
- (2) 可外接自动加药机(进行废水预处理)
- (3) 设备体积小，易串接整合于 In line 产线
- (4) 可处理全氟碳化合物等设备排放尾气
- (5) 可与前端制程设备连线、配合进一步减少能源使用
特别的功能
- 气体检测设备：
- 气体处理后分析结果验证能力
- 提供客户采样分析服务
相关解决方案
- 【等离子优异处理效能】
- CF4 去除率实测结果：
- 经 CNT 等离子洗涤设备处理后, 透过 GC 分析得到 CF4 DRE>95%
- CF4 通入浓度 : 4%
- 经 CNT 等离子洗涤设备处理后, 透过 GC 分析得到 C2F6 DRE>98%
- C2F6 通入浓度 : 4%