Plsasma Scrubber温室气体(PFCs)等离子洗涤器

透过等离子制程破坏与分解制程中所产生之有害废气使形成水溶性化学物质后由水洗涤溶入水中后再将废水排出

※亦可依生产条件进行客制化设计专案规格。
※欢迎各行业别询问解决方案。

• (1) 效率高、低功耗
• (2) 可外接自动加药机(进行废水预处理)
• (3) 设备体积小，易串接整合于 In line 产线
• (4) 可处理全氟碳化合物等设备排放尾气
• (5) 可与前端制程设备连线、配合进一步减少能源使用

• 气体检测设备：
• 气体处理后分析结果验证能力
• 提供客户采样分析服务

• 【等离子优异处理效能】
• CF4 去除率实测结果：
• 经 CNT 等离子洗涤设备处理后, 透过 GC 分析得到 CF4 DRE>95%
• CF4 通入浓度 : 4%
• 经 CNT 等离子洗涤设备处理后, 透过 GC 分析得到 C2F6 DRE>98%
• C2F6 通入浓度 : 4%