空污環保電漿洗滌器
Plsasma Scrubber 溫室氣體(PFCs)電漿洗滌器
產品說明
產品特點
- (1) 效率高、低功耗
- (2) 可外接自動加藥機(進行廢水預處理)
- (3) 設備體積小，易串接整合於 In line 產線
- (4) 可處理全氟碳化合物等設備排放尾氣
- (5) 可與前端製程設備連線、配合進一步減少能源使用
特別的功能
- 氣體檢測設備：
- 氣體處理後分析結果驗證能力
- 提供客戶採樣分析服務
相關解決方案
- 【電漿優異處理效能】
- CF4 去除率實測結果：
- 經 CNT 電漿洗滌設備處理後, 透過 GC 分析得到 CF4 DRE>95%
- CF4 通入濃度 : 4%
- 經 CNT 電漿洗滌設備處理後, 透過 GC 分析得到 C2F6 DRE>98%
- C2F6 通入濃度 : 4%