Plsasma Scrubber溫室氣體(PFCs)電漿洗滌器

透過電漿製程破壞與分解製程中所產生之有害廢氣使形成水溶性化學物質後由水洗滌溶入水中後再將廢水排出

※亦可依生產條件進行客製化設計專案規格。
※歡迎各行業別詢問解決方案。

• (1) 效率高、低功耗
• (2) 可外接自動加藥機(進行廢水預處理)
• (3) 設備體積小，易串接整合於 In line 產線
• (4) 可處理全氟碳化合物等設備排放尾氣
• (5) 可與前端製程設備連線、配合進一步減少能源使用

• 氣體檢測設備：
• 氣體處理後分析結果驗證能力
• 提供客戶採樣分析服務

• 【電漿優異處理效能】
• CF4 去除率實測結果：
• 經 CNT 電漿洗滌設備處理後, 透過 GC 分析得到 CF4 DRE>95%
• CF4 通入濃度 : 4%
• 經 CNT 電漿洗滌設備處理後, 透過 GC 分析得到 C2F6 DRE>98%
• C2F6 通入濃度 : 4%