TiN, TiC, TiCN镀膜(Thermal CVD)

．近期发展起来的薄膜制备方法。采高温热分解前驱气体，通过调节前驱体组分对比和温度，而获得大面积高质量沉积膜。
．系利用气态物质在固体表面进行反应生成固态沉积物的过程，是一种在高温下利用热能进行热分解和热化合的沉积技术。

可应用范围
• 刀具：车刀片、螺纹刀具、铣刀
• 模具：(线材)拉伸模具、锻造模、冲压工具、剪切模具、挤型模具、铸币模具、压接工具、弯管模具

• 常压或低压下沉积
• 镀层化学成分可调，可获得梯度沉积物或混合镀层
• 密度、纯度可调
• 绕镀性佳，可在复杂基材及颗粒材料上沉积。如：带槽、沟、孔或盲孔的工件。
• 可镀厚(10~20μm)
• 附着性佳