TiN, TiC, TiCN鍍膜(Thermal CVD)

．近期發展起來的薄膜製備方法。採高溫熱分解前驅氣體，通過調節前驅體組分對比和溫度，而獲得大面積高質量沉積膜。
．係利用氣態物質在固體表面進行反應生成固態沉積物的過程，是一種在高溫下利用熱能進行熱分解和熱化合的沉積技術。

可應用範圍
• 刀具：車刀片、螺紋刀具、銑刀
• 模具：(線材)拉伸模具、鍛造模、沖壓工具、剪切模具、擠型模具、鑄幣模具、壓接工具、彎管模具

• 常壓或低壓下沉積
• 鍍層化學成分可調，可獲得梯度沉積物或混合鍍層
• 密度、純度可調
• 繞鍍性佳，可在複雜基材及顆粒材料上沉積。如：帶槽、溝、孔或盲孔的工件。
• 可鍍厚(10~20μm)
• 附著性佳