CVD系統

鑽石薄膜具有許多優異的物性以及化性，其硬度（hardness）、莫爾密（molardensity）、熱導速度、聲速及彈性模數都是已知物質中最高的；其它優良的特性如負電子親和力（negative electron affinity，NEA）、低摩擦係數、高折射率、低熱膨脹係數、遠紅外光至X -光範圍之光學穿透性、良好的電絕緣性、寬廣之價帶及高電子電洞移動速率等。

近期發展起來的薄膜製備方法。採高溫熱分解前驅氣體，通過調節前驅體組分對比和溫度，而獲得大面積高質量沉積膜。係利用氣態物質在固體表面進行反應生成固態沉積物的過程，是一種在高溫下利用熱能進行熱分解和熱化合的沉積技術。