馗鼎奈米蝕刻設備 高速均勻
經濟日報
2024年09月04號
作者 經濟日報 張傑
國內常壓、低壓電漿設備大廠-馗鼎奈米科技，以優越電漿開發能力及鍍膜技術基礎下，致力研發大氣電漿、抗污、抗菌、抗指紋鍍膜技術及連續式捲繞傳輸製程（roll to roll, RTR），更在GOG、PEDOT、EMI coating、OLED、micro LED等新製程開發，均有所斬獲。
馗鼎奈米所推出的低壓電漿清潔設備（In-line Plasma Cleaning Equipment）。馗鼎奈米／提供
在物聯網及AI世代來臨趨勢下，晶片異質整合需求逐漸興起，也帶動先進封裝等技術需求發展，馗鼎奈米科技在既有低壓反應性離子蝕刻設備（Reactive ion etching, RIE）基礎下，搭配專利的電極設計、氣體流場均勻化的配置、基板載台的流體冷卻系統，達到具有高蝕刻速率、高均勻性與低製程溫度的特點，及高深寬比與非等向性蝕刻等的製程需求，適合用於半導體、封裝與光電等相關領域，進行乾式蝕刻（Etching）或灰化（Ashing）等製程。
另一款連續式的低壓電漿清潔設備（In-line Plasma Cleaning Equipment），其特點為可全自動化生產，降低人工取放的動作，進而減少產品受到污染的風險。搭配專利的水冷式電極與氣體流場設計，可提升產品的清潔效果與均勻性，因此廣泛應用於半導體、封裝與光電等相關領域進行清潔、活化、改質或粗糙化等製程，例如Chip、die、lead frame等表面清潔與改質，或underfill、wire bonding、molding前的清潔處理等。
其中，該公司所生產的連續式（In-line）電漿清洗設備，於IC封裝上，有廣泛的應用，例如固晶、打線或封膠等製程前的表面清潔。且該設備具有快速、高均勻性等特性，加上可調整式多軌設計，搭配自動分料系統，可提供清潔效率與可靠度，同時也讓生產規畫更具靈活性。
由於馗鼎奈米科技具有與產業共同技術研發能力，不論在觸控面板及軟、硬板製程上，皆有長足開發能力，且布局多年奈米材料，於各個產業包含面板、半導體產業不斷尋找出路及開發應用領域。
馗鼎奈米科技電話（06）232-3927。
【免責聲明】
本文章內容僅代表作者個人觀點，與馗鼎無關。
內容性、文字闡述和原創性未經本站證實，對本文章及全部或部分內容、真實性、完整性、及時性本站不作任何保證或承諾，僅供讀者參考，請自行核實相關內容。
本文章內容僅代表作者個人觀點，與馗鼎無關。
內容性、文字闡述和原創性未經本站證實，對本文章及全部或部分內容、真實性、完整性、及時性本站不作任何保證或承諾，僅供讀者參考，請自行核實相關內容。
馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc.
59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN
TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com
59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN
TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com