分析控制仪器
等离子光谱分析仪 (OES)
产品描述
等离子光谱分析仪为非侵入式的等离子分析仪器，能够进行等离子的监控及分析制程中等离子元素特性，帮助提升制程的监控性并提供制程后续分析能力
产品特点
- 真空内置式侦测头
- 防镀膜组
- 能观测特定波长
- 能控制流量计
- 能扩充至4组流量计控制
- 等离子光谱成分后续分析功能
- 客制化
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