分析控制儀器
電漿光譜分析儀 (OES)
產品說明
電漿光譜分析儀為非侵入式的電漿分析儀器，能夠進行電漿的監控及分析製程中電漿元素特性，幫助提升製程的監控性並提供製程後續分析能力
產品特點
- 真空內置式偵測頭
- 防鍍膜組
- 能觀測特定波長
- 能控制流量計
- 能擴充至4組流量計控制
- 電漿光譜成分後續分析功能
- 客製化
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