UA-20935187-3
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产品介绍
真空镀膜系统
PVD系统
真空镀膜系统
FCVA100
产品特点
ta-C涂层专用机
过滤式弯弧设备
占地:W3590*D3100*H3400 mm
腔体尺寸:525*482*H617 mm
有效镀膜空间:D360*H100 mm
6 轴(D125mm)公自转转座
膜厚:0.1~1μm
制程时间:2.5~3h
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