真空镀膜系统
PVD PVN500-C
产品特点
- 纳米复合硬质涂层设备
- 采阴极电弧镀膜技术，可安装4~8组6吋圆形阴极弧源
- 圆形靶靶材利用率高
- 真空零配件均采进口元件
- 特殊几何形状档板(遮蔽靶源)
- 系统采夹层式水路冷却；八边形不锈钢腔体
- 搭载4 组Heater，可均匀升温至450℃
- 搭载超高真空涡轮帮浦
- 8轴3层公自转机构，产能大且膜层均匀
- 置具台车方便Loading /Unloading生产，提供生产效率
- 全自动化镀膜生产，可远端网路诊断及程式除错
- 可镀膜种类：TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…
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