真空鍍膜系統
PVD PVN500-C
產品特點
- 奈米複合硬質塗層設備
- 採陰極電弧鍍膜技術，可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源
- 圓形靶靶材利用率高
- 真空零配件均採進口元件
- 特殊幾何形狀檔板(遮蔽靶源)
- 系統採夾層式水路冷卻；八邊形不銹鋼腔體
- 搭載4 組Heater，可均勻升溫至450℃
- 搭載超高真空渦輪幫浦
- 8軸3層公自轉機構，產能大且膜層均勻
- 置具台車方便Loading /Unloading生產，提供生產效率
- 全自動化鍍膜生產，可遠端網路診斷及程式除錯
- 可鍍膜種類：TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、
- AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…
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