馗鼎纳米等离子废气处理设备 有效减少半导体制程碳排及VOCs处理
经济日报
2024年06月24号
作者 张杰
2024年06月24号
作者 张杰
因应全球ESG浪潮，馗鼎纳米以优越等离子开发能力及镀膜技术基础下，开发等离子废气处理设备(plasma scrubber)，可有效破坏与分解镀膜与蚀刻制程中，所产生的有害废气，尤其是含氟温室气体，并搭配湿式洗涤制程，将处理过的废气或废水排出，对于减少半导体制程温室气体排放，以及VOCs排放处理，有明显效益。
有鉴于半导体产业方兴未艾，半导体CVD制程、蚀刻制程、扩散制程中，所产生大量的含氟气体排放，其碳当量约(CO2e)5000-6000倍CO2，有迫切处理的需要，馗鼎纳米所开发等离子废气处理设备(plasma scrubber)，透过等离子制程，破坏与分解制程中，所产生有害废气，并搭配湿式洗涤，可将废水排出。
馗鼎纳米表示，由于等离子废气处理设备(plasma scrubber)中的电极设计及电源供应器，皆是馗鼎纳米自行研发技术，不仅效率高且低功耗，亦可外接自动加药机(进行废水预处理) ，由于设备体积小，易串接整合于In line 产线，并可处理全氟碳化合物等设备排放尾气，且能与前端制程设备连线、配合进一步减少能源使用。
馗鼎纳米指出，所开发出的等离子废气处理设备(plasma scrubber)针对科技产业（面板业、半导体、PCB产业)、传统制程(石化业、纺织业、化工制程)，废气处理、以及针对挥发性有机物（Volatile Organic Compounds，简称VOCs）等相关产业，在减少温室气体排放上，不仅有明显效益，对于企业追求低碳排、碳中和等领域，更是具有莫大助益。
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