複合式自動電漿製程檢測機

在大氣環境中，產生輝光放電等離子體，可應用於基板表面清潔、貼合後殘膠去除、奈米級表面平坦化或基板表面鍍膜，並整合量檢測系統，用於分析製程後基板表面狀況，同時達到用戶端製程與檢測需求