分析控制儀器
多功能型真空電性量測系統MVEM001
產品說明
多探針真空量測： 可選配2至4組可微調探針座，電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載台直徑可至2英寸，腔體真空度可選擇一般真空度（5×10-3 Torr）以及高真空（1×10-6 Torr）。探針X-Y-Z三方向微調，行程：6.5 mm，定位精度：10 µm。並搭配CCD進行下針及微調。
In situ電漿處理裝置： 特殊探針收回機構設計，多次量測之間可進行電漿處理程序，針對樣品進行表面電漿改質/清潔，不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產生影響。可選配RF/DC/MF generator。
光感測： 腔體上方透明視窗採用石英玻璃，可搭配光學系統進行光感測元件之量測。
特定氣體感測： 特定氣體可透過質流控制器（Mass flow controller, MFC）或浮子流量計進行流量控制。
濕氣感測、有機蒸氣感測： 可選配特殊液態蒸氣導入裝置設計，可控制導入腔體之蒸氣流量，進而換算液態蒸氣之感測濃度。
低溫量測（300K~20K）： 選配閉循環低溫製冷系統，可達20K之低溫環境，並透過PID系統進行連續式控溫。高溫選配需求可達500K、低溫選配需求可達10K
In situ電漿處理裝置： 特殊探針收回機構設計，多次量測之間可進行電漿處理程序，針對樣品進行表面電漿改質/清潔，不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產生影響。可選配RF/DC/MF generator。
光感測： 腔體上方透明視窗採用石英玻璃，可搭配光學系統進行光感測元件之量測。
特定氣體感測： 特定氣體可透過質流控制器（Mass flow controller, MFC）或浮子流量計進行流量控制。
濕氣感測、有機蒸氣感測： 可選配特殊液態蒸氣導入裝置設計，可控制導入腔體之蒸氣流量，進而換算液態蒸氣之感測濃度。
低溫量測（300K~20K）： 選配閉循環低溫製冷系統，可達20K之低溫環境，並透過PID系統進行連續式控溫。高溫選配需求可達500K、低溫選配需求可達10K
產品特點
- 真空量測
- 特定氣氛感測
- 濕度感測
- 有機蒸氣感測
- 光感測（需額外搭配光學系統如雷射、光譜儀等）
- 高低溫變溫量測
- 真空電漿處理
- 內部各項配件均可客製化設計
相關解決方案
- 固態半導體電子元件
- 次微米/奈米元件之電性量測
- 微電子元件量測（photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.）
- 四點探針量測（4 points measurement）