真空鍍膜系統
電漿系統ODM服務
產品特點
- 感應耦合高密度電漿系統（ICP System）
- 電漿輔助化學氣相沉積系統（PECVD）
- 濺鍍系統（Sputtering System）
- 離子披覆系統（Ion-Plating System）
- 電弧離子鍍膜系統（Arc Ion-Plating System）
- 化學氣相沉積系統（CVD）
- 熱蒸鍍系統（Thermal Evaporation）
- 電子槍蒸鍍系統（E-gun Evaporation）
相關解決方案
- 電漿處理系統如表面處理及表面改質
- 應用在各式鍍膜如光學多層薄膜、超硬耐磨耗薄膜（DLC、TiN、TiC等）