UA-20935187-3
真空鍍膜系統

高真空濺鍍系統 CF-SP01 (X、Z)

高真空濺鍍系統 CF-SP01 (X、Z)
高真空濺鍍系統 CF-SP01 (X、Z)
產品特點
  • 高沉積速度，好的鍍膜均勻度
  • 可安裝濺鍍槍3支
  • 可通入多組氣體
  • 可增加偏壓
  • 容易操作和維護
  • 全自動及機台穩定性高
  • 可依照客戶需求
  • 可搭配電漿光譜分析儀做電漿強度分析及控制
相關解決方案
  • LED產業
  • 太陽能產業
  • 半導體產業
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