真空鍍膜系統
PVD PVN650-R
產品特點
- 大型奈米複合硬質塗層設備
- 採陰極電弧鍍膜技術，可安裝6~12組6吋圓形陰極弧源
- 圓形靶靶材利用率高，有效鍍膜區域增大，可鍍製大型模具、零組件
- 刀具單爐產量大，D4*50mm產能可高達4800pcs
- 腔體膜層均勻性≦16%
- 可鍍膜種類：TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…
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