真空鍍膜系統
PVD PVN500-R
產品特點
- 奈米複合硬質塗層設備(規格多與PVN500同)
- 採陰極電弧鍍膜技術，可安裝4組矩形陰極弧源
- 可鍍膜種類：TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、
- AlCrN、AlTiCrN、TiX、G1…
- 膜層更細緻、爐內上下均勻性優於圓形靶系統
相關解決方案
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