UA-20935187-3
低壓電漿設備

真空R2R電漿設備

真空R2R電漿設備
真空R2R電漿設備
真空R2R電漿設備
真空R2R電漿設備
產品說明
可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等
產品特點
  • 高密度電漿源，電漿效率高，減少製程時間
  • 專利設計之特殊電漿電極
  • 特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計
  • 處理之均勻性佳
  • 電漿均勻性佳
  • 可使用多種製程氣體
  • 全自動且容易操作
  • 設備穩定高，容易維護
  • 可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台
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