中頻電漿電源系統 MFPS系列

．符合電漿特性的電氣規格
．具備定功率，定電壓，定電流
．內建電弧保護功能
．內建過電壓，過電流，過熱，過載等保護功能
．可用於單雙火線的電漿系統
．PLC 使用者介面相容於 AE-PEII

• 數位控制電源供應系統
• 設定範圍廣
• 高電漿密度
• 可客製化電源設計開發

• 電路板製造業之除膠渣製程
• 面板，玻璃，塑膠產業之表面清潔
• 等離子輔助化學沉積製程