電漿電源供應器
脈衝直流電漿電源供應器 PDPS001
產品說明
應用於低壓鍍膜電漿設備
產品特點
- 微處理器控制
- 可設定的非對稱電壓輸出
- 具定電壓，定功率，定電流模式選擇
- 具減弧及電弧抑制
- 可應用於不同靶材鍍膜，如鎳，銅，鋁，鈦等
- 輸出頻率可調整
- 全自動且容易操作
- 設備穩定高，容易維護
- 可依客戶需求作更改
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