產品訊息
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  • PECVD系統
抗靜電消散-類鑽碳膜(ESD-DLC)
產品功能
隨著晶片尺寸越做越小,封裝、封測甚至晶圓製造端所使用的元件,包含治具(Hot Plate、Change kit、Contack chuck…)、軌道、載盤、震動盤、模具等等皆需要有抗靜電的功能特性,以保護產品在生產過程中,因靜電導致破壞等問題。而馗鼎透過研究與業界實測,透過多元複合技術,搭配PVD/PECVD等特殊多層堆疊技術,可成功實現表面達抗靜電消散能力的薄膜,馗鼎公司此技術已量產五年以上,穩定性與可靠度已受客戶多年認證。
產品特色
.抗靜電阻值:10^5~10^8Ω。
.高硬度:鉛筆硬度>9H(HV1800~2200)。
.摩擦係數小、耐磨耗,回饋壽命可達5倍以上水準(封測治具)。
.抗腐蝕能力佳。
.低溫(-50℃)/高溫(200℃)/時鍍層不會剝離,阻值仍保持穩定
.鍍層平滑不沾黏
可應用範圍

• 素材為導電材

1.不鏽鋼

2.粉末冶金高速鋼(ASP23)

3.模具鋼SKD61

4.FDAC (+電鍍Cr)

5.鎢鋼

6.藍鋼(+電鍍Cr)

7.鋁合金

 

• 素材為非導體材

1.鋁合金(6系列)+硬質陽極後

2.陶瓷(限平面)

3.工程塑膠(PEEK,限平面)

4.玻纖(限平面)