產品訊息
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  • PVD & PECVD Complex系統
Me/DLC鍍膜
產品功能
產品特色
.整合系統可製備Me/DLC複合塗層。以Sputter系統製備具細緻柱狀結構之金屬氮碳化物塗層並額外提供PECVD系統之平滑磨潤之DLC膜層。
.Cr/CrN/DLC、Cr/WC:H/DLC(Ti系、Zr系等應用)
.Cr/WC:H/DLC應用在不銹鋼微整型模塊,可增加約3倍壽命。
.具衝擊、磨耗場合之應用零件,例:螺絲、螺帽、鉚釘之沖棒、汽車零組件等