產品訊息
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  • PVD & PECVD Complex系統
Hybrid 500 - 4S
產品功能
產品特色
.可設置4組Sputter,建構非平衡磁控濺射系統(UBM),也可做為高階裝飾鍍膜設備。
.整合PVD(UBM)及PECVD系統技術,可以製備Me/DLC複合鍍層。濺射系統可製備碳氮化膜具緻密且及具韌性之柱狀結構,作為PECVD DLC前之應力緩衝層,加強了附著性及耐衝擊性,可製備1~5μm。
.可應用於(非鐵金屬)沖棒、吹瓶模具、汽機車引擎內零件、耐衝擊磨耗之零件。
.可製備:TiN、CrN、AlCrN、ZrN、AlTiN、WCC、Me/DLC等