產品訊息
PRODUCTS
  • PVD & PECVD Complex系統
Hybrid 500 - 4A2S
產品功能
產品特色
.可設置2組Sputter及2侧陰極電弧模組。
.整合PVD及PECVD系統技術,可以製備附著性極佳之Me/DLC複合鍍層技術。
.可彈性應用於刀工具硬質膜層之製作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。
.可製備:TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等