產品訊息
PRODUCTS
  • PVD系統
FCVA100
產品功能
產品特色
.ta-C塗層專用機
.過濾式彎弧設備
.佔地:W3590*D3100*H3400 mm
.腔體尺寸:525*482*H617 mm
.有效鍍膜空間:D360*H100 mm
.6 軸(D125mm)公自轉轉座
.膜厚:0.1~1μm
.製程時間:2.5~3h