產品訊息
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  • 蝕刻機
電漿蝕刻機PI01
產品功能
適用於太陽能電池製程,對矽晶片之邊緣做蝕刻
產品特色
.專利設計之特殊電漿電極
.高密度電漿源
.處理速度快、產能高、可靠度高
.可選擇的操作參數多
.設備穩定度高,容易維護
.全自動且容易操作
.可依客戶需求作更改
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