產品訊息
PRODUCTS
  • 捲對捲(R2R)
真空R2R電漿設備
產品功能
可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等
產品特色
.高密度電漿源,電漿效率高,減少製程時間
.專利設計之特殊電漿電極
.特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計
.處理之均勻性佳
.電漿均勻性佳
.可使用多種製程氣體
.全自動且容易操作
.設備穩定高,容易維護
.可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台