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  • 電漿光譜分析儀
電漿光譜分析儀 (OES)
產品功能
電漿光譜分析儀為非侵入式的電漿分析儀器,能夠進行電漿的監控及分析製程中電漿元素特性,幫助提升製程的監控性並提供製程後續分析能力
產品特色
.真空內置式偵測頭
.防鍍膜組
.能觀測特定波長
.能控制流量計
.能擴充至4組流量計控制
.電漿光譜成分後續分析功能
.客製化
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.太陽能產業
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.電漿處理系統
.光學產業
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