產品訊息
PRODUCTS
  • 直流電源供應器
直流電漿電源系統 DCPS系列
產品功能
.符合電漿特性的電氣規格
.具備定功率,定電壓,定電流
.內建電弧保護功能
.內建過電壓,過電流,過熱,過載等保護功能
.可用於單雙火線的電漿系統
.PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)
產品特色
.數位控制電源供應系統
.設定範圍廣
.高電漿密度電源
.可客製化電源設計開發
相關解決方案

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.電漿輔助濺鍍製程

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