產品訊息
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  • 真空電性量測系統
多功能型真空電性量測系統MVEM001
產品功能
多探針真空量測: 可選配2至4組可微調探針座,電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載台直徑可至2英寸,腔體真空度可選擇一般真空度(5×10-3 Torr)以及高真空(1×10-6 Torr)。探針X-Y-Z三方向微調,行程:6.5 mm,定位精度:10 µm。並搭配CCD進行下針及微調。

In situ電漿處理裝置: 特殊探針收回機構設計,多次量測之間可進行電漿處理程序,針對樣品進行表面電漿改質/清潔,不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產生影響。可選配RF/DC/MF generator。

光感測: 腔體上方透明視窗採用石英玻璃,可搭配光學系統進行光感測元件之量測。

特定氣體感測: 特定氣體可透過質流控制器(Mass flow controller, MFC)或浮子流量計進行流量控制。

濕氣感測、有機蒸氣感測: 可選配特殊液態蒸氣導入裝置設計,可控制導入腔體之蒸氣流量,進而換算液態蒸氣之感測濃度。

低溫量測(300K~20K): 選配閉循環低溫製冷系統,可達20K之低溫環境,並透過PID系統進行連續式控溫。高溫選配需求可達500K、低溫選配需求可達10K
產品特色
提供真空量測系統相關進階功能之解決方案,整合常見之真空量測所需功能:真空量測、特定氣氛感測、濕度感測、有機蒸氣感測、光感測(需額外搭配光學系統如雷射、光譜儀等)、高低溫變溫量測、真空電漿處理。內部各項配件均可客製化設計。
相關解決方案

固態半導體電子元件、次微米/奈米元件之電性量測、微電子元件量測(photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.)、四點探針量測(4 points measurement)。