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電漿系統ODM服務
產品功能
產品特色
.感應耦合高密度電漿系統(ICP System)
.電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)
.濺鍍系統(Sputtering System)
.離子披覆系統(Ion-Plating System)
.電弧離子鍍膜系統(Arc Ion-Plating System)
.電弧離子鍍膜系統(Arc Ion-Plating System)
.化學氣相沉積系統(CVD)
.熱蒸鍍系統(Thermal Evaporation)
.電子槍蒸鍍系統(E-gun Evaporation )
相關解決方案
  • 電漿處理系統如表面處理及表面改質
  • 應用在各式鍍膜如光學多層薄膜、超硬耐磨耗薄膜(DLC、TiN、TiC等)