產品訊息
PRODUCTS
  • PECVD
電漿輔助化學氣相沉積系統
產品功能
產品特色
.大面積均勻性
.高鍍膜速率
.低溫真空鍍膜
.可通入多組氣體
.易操作及易維護
.可以客戶做修改
.可搭配製電漿光譜分析儀做製程電漿監控及控制
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