產品訊息
PRODUCTS
  • 濺鍍系統
高真空濺鍍系統CF-SP01 (X、Z)
產品功能
產品特色
.高沉積速度,好的鍍膜均勻度
.可安裝濺鍍槍3支
.可通入多組氣體
.可增加偏壓
.容易操作和維護
.全自動及機台穩定性高
.可依照客戶需求
.可搭配電漿光譜分析儀做電漿強度分析及控制
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