產品訊息
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  • PVD系統
PVD PV500-R
產品功能
產品特色
.奈米複合硬質塗層設備(規格多與PVN500同) mm
.採陰極電弧鍍膜技術,可安裝4組矩形陰極弧源
.可鍍膜種類:TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、TiX、G1…
.膜層更細緻、爐內上下均勻性優於圓形靶系統
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