產品訊息
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  • PVD系統
PVD PVN500
產品功能
產品特色
.奈米複合硬質塗層設備
.採陰極電弧鍍膜技術,可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源
.圓形靶靶材利用率高
.真空零配件均採進口元件
.特殊幾何形狀檔板(遮蔽靶源)
.系統採夾層式水路冷卻;八邊形不銹鋼腔體
.搭載4 組Heater,可均勻升溫至450℃
.搭載超高真空渦輪幫浦
.8軸3層公自轉機構,產能大且膜層均勻
.置具台車方便Loading /Unloading生產,提供生產效率
.全自動化鍍膜生產,可遠端網路診斷及程式除錯
.可鍍膜種類:TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…
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